kewill質量熱式氣體流量計
原理&結構
FGM220 質量流量控制器(Mass Flow Controller)是一款智能化、高精度可進行準確的質量流量控制的氣體質量流量控 制器產品。該產品配備有電磁比例閥、不銹鋼1.4435接液材質、高精度微機電流量芯片等,具有精度高、 響應速度快、穩(wěn) 定性好等特點。 操作 使用方便,可任意位置安裝,廣泛用于電子工藝設備、真空鍍膜、石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測量儀器、制 氣配氣等行業(yè) 。
kewill質量熱式氣體流量計
特點
分析和環(huán)保 半導體加工 燃燒控制器 真空技術 表面處理 食品和制藥 化工(石化)等過程控制
應用
溫度和壓力不敏感 *的零點穩(wěn)定性 超快的響應速度 良好的重復性和再現性 多種信號輸出方式 配備高*比例電磁閥
技術參數
核心參數說明  | |
介質要求:  | 潔凈干燥無腐蝕性氣體  | 
介質種類:  | 空氣、氮氣、氬氣、二氧化碳  | 
氦氣、氫氣、甲烷、氧氣等  | |
量程:  | 0...50/100/500/1000 SCCM(每分鐘標準毫升)  | 
0...5/20 SLM(每分鐘標準升)  | |
精度:  | 1.0% F.S  | 
1.5% F.S.  | |
分辨率:  | *低 0.01SCCM(每分鐘標準毫升)  | 
響應時間:  | ≤1S  | 
環(huán)境條件  | |
介質溫度:  | 0...50℃  | 
工作溫度:  | -20...70℃  | 
工作濕度:  | 10%...90%RH(無結冰,無凝露)  | 
工作壓力:  | 0...10bar  | 
儲存溫度:  | -20...85℃  | 
電氣參數  | |
供電電壓:  | DC24V  | 
功耗:  | 2.4W  | 
啟動時間:  | <1S  | 
預熱時間:  | <10mS  | 
信號類型  | |
模擬信號(電流、電壓)  | |
接口類型:  | D-SUB 9 針  | 
電壓信號:  | 0...5V & 1...5V  | 
電流信號:  | 4...20mA  | 
數字信號(RS485)  | |
接口類型:  | RJ45和D-SUB 9 針  | 
通信速率:  | 4800,9600(默認),14400,19200,38400,56000,57600,  | 
115200,28000,230400,256000,460800,500000 (可  | |
通過指令或者上位機修改)  | |
協議:  | RS485(默認 Modbus-RTU協議)  | 
設備地址:  | 1(默認)-250(可通過指令或者上位機修改)  | 
*大節(jié)點數:  | 250  | 
機械參數  | |
接頭類型:  | 卡套:8mm、12mm  | 
快插:6mm,8mm  | |
協議定制  | |
主體材質:  | 接液底座:陽極氧化鋁合金  | 
不銹鋼1.4301(不銹鋼304)  | |
不銹鋼1.4435(不銹鋼316L)  | |
外殼:碳鋼  | |
密封材質:  | FKM 氟橡膠  | 
重量:  | 鋁:≈0.75kg  | 
不銹鋼:≈1.5kg  | 
尺寸圖

選型表

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